探针台:UF190R
适合测试分立器件的200mm探针台。
开环系统和轻量化的Z轴系统,实现了更高的生产效率。
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• 它可執行4至8英吋晶圓的傳輸與針測。
• 採用和UF2000相同的MMI。
• 多種選擇,可達成所有非業界標準種類的晶圓針測。